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本实用新型属于原子层沉积技术领域，提供了一种ALD尾气处理装置，包括第一进气口，所述第一进气口的一端连接反应腔，另一端连接有一级分解装置，所述一级分解装置远离第一进气口的一端设有第一出气口，所述第一出气口与连接管一端固定连接，所述连接管远离...
该专利属于江苏鹏举半导体设备技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏鹏举半导体设备技术有限公司授权不得商用。

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