下载等离子体发生器及等离子梳的技术资料

文档序号:34534006

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本申请提出一种等离子体发生器及等离子梳,等离子体发生器包括:柱形电极结构和供电模块,柱形电极结构从中心轴径向向外依次包括:高压电极层、介质阻挡层、地电极层;介质阻挡层围绕高压电极层;地电极层呈条状有间隙地分布在介质阻挡层的外表面;供电模块向...
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