下载一种增强型氮化镓基晶体管及其制备方法的技术资料

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一种增强型氮化镓基晶体管,自下而上包括衬底、复合缓冲层、沟道层和势垒层,在势垒层上设置有P型氮化物帽层、钝化层、源电极、漏电极和栅电极,P型氮化物帽层在侧面和顶面均被栅电极包围,钝化层布设于栅电极与源电极之间以及栅电极与漏电极之间;栅电极与...
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