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本发明涉及晶圆半导体干燥技术领域，具体地说，涉及一种对晶圆半导体两面进行同时处理的干燥装置。其包括固定装置和设置于固定装置一侧的下料装置；固定装置包括固定机构，固定机构的顶部设有甩干机构，甩干机构的顶部设有烘干机构。本发明设计在转动柱转动时...
该专利属于汪翼凡所有，仅供学习研究参考，未经过汪翼凡授权不得商用。

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