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本发明公开了一种ITO靶材的圆角加工方法，旨在降低夹紧靶材时的操作难度，其技术方案：涉及磨床、电磁吸盘以及夹紧组件，所述电磁吸盘设置在磨床上；所述夹紧组件包括2个夹块，2个所述夹块相对布置且两者之间形成夹紧空间；所述夹块可被电磁吸盘吸紧；2...
该专利属于先导薄膜材料（广东）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过先导薄膜材料（广东）有限公司授权不得商用。

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