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本实用新型涉及金刚石单晶片抛光技术领域，具体涉及一种金刚石单晶片抛光装置。金刚石单晶片抛光装置包括工作台，工作台上转动装配有砂轮，砂轮的转动轴线沿竖直方向延伸，工作台上设有推力机构，推力机构具有推杆，推杆的下端连接有固定座，固定座的下表面用...
该专利属于河南天璇半导体科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过河南天璇半导体科技有限责任公司授权不得商用。

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