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防止周围未打靶材被烧毁的用于重频激光打靶的靶片制造技术
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下载防止周围未打靶材被烧毁的用于重频激光打靶的靶片的技术资料
文档序号:34481952
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本实用新型公开了一种防止周围未打靶材被烧毁的用于重频激光打靶的靶片,所述靶片包括两片金属片和夹持于其间的绝缘片。靶片上以点阵方式排布靶孔,依次贯穿金属片、绝缘片和金属片,其中,靶孔在金属片上的部分为由圆柱和圆台构成,打靶产生的能量在圆台面处...
该专利属于北京锐德康科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京锐德康科技有限公司授权不得商用。
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