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一种微波等离子体射流装置、方法及应用制造方法及图纸
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下载一种微波等离子体射流装置、方法及应用的技术资料
文档序号:34469114
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本发明涉及一种微波等离子体射流装置、方法及应用,包括矩形波导和圆波导,数个所述矩形波导与一个圆波导之间连通设置,所述微波发射装置设置在矩形波导的端口处;所述圆波导内设置有圆脊和石英管,所述石英管为空心通管,所述圆脊和石英管沿圆波导的长度方向...
该专利属于成都奋羽电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过成都奋羽电子科技有限公司授权不得商用。
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