下载一种超薄填孔镀铜整平剂的合成方法以及应用的技术资料

文档序号:34468919

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本发明公开了一种超薄填孔镀铜整平剂的合成方法以及应用。所述整平剂由两类胺类物质和一类醚类物质共聚所得,一类胺类物质为线性聚乙烯亚胺,另一类胺类物质为含氮杂环化合物,其中包括含氮杂环化合物A:哌嗪,吡唑,咪唑,2
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