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本发明提供了一种用于投影光刻的物镜光学系统以及采用该物镜光学系统的投影光刻系统，其在结构简单，使用透镜少、低成本的同时，还具有较高的分辨率，沿着光轴顺序设置有：第一镜组、第二镜组、第三镜组和反射曲面，由物面发射的光束依次经过第一镜组、第二镜...
该专利属于张家港中贺自动化科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过张家港中贺自动化科技有限公司授权不得商用。

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