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应用于直线电机系统的沟槽型水道冷却板,涉及直线电机系统的水道冷却技术,了解决现有的平板型冷却板由于水道内壁光滑会在内壁面产生层流底层,内壁面的层流底层会严重降低流体的散热能力,导致冷却板的冷却效果差。本发明的底板位于最下方,围板设置在底板的...该专利属于上海微电子装备(集团)股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海微电子装备(集团)股份有限公司授权不得商用。
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