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本发明提供了湿度感测结构、湿度传感器及湿度感测结构的制作方法，所述第一湿敏电极和所述第二湿敏电极以预设的间隙排布在所述第二介质层远离所述至少一个加热电极的一侧表面，该第二介质层作为绝缘保护层，与第一介质层形成一个整体，共同对加热电极进行包覆...
该专利属于苏州敏芯微电子技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州敏芯微电子技术股份有限公司授权不得商用。

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