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本实用新型提供了一种晶棒自动化运输装置及其系统，包括：第一传输机构、第二传输机构、配置在第一和第二传输机构之间的上下料机械臂机构、控制机构；上下料机械臂机构包括旋转机构、配置在旋转机构上的升降机构、配置在升降机构上的伸缩机构、配置在伸缩机构...
该专利属于华侨大学所有，仅供学习研究参考，未经过华侨大学授权不得商用。

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