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本实用新型提供了一种实现高度误差分离的形貌测量装置及其系统，包括二维运动模组、配置在二维运动模组上测量桥组件和高度误差分离模块；高度误差分离模块包括外置基准光学平晶和误差光学测量组件，外置基准光学平晶固定在误差光学测量组件上端，误差光学测量...
该专利属于华侨大学所有，仅供学习研究参考，未经过华侨大学授权不得商用。

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