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本实用新型公开一种化学气相沉积装置的密封结构及化学气相沉积装置，包括壳体、下电极组件和第一密封件，壳体的底部具有凸起部，凸起部邻近于壳体的外侧壁，下电极组件与壳体连接围成真空腔，下电极组件与壳体的底部之间留有间隙，间隙位于凸起部背离壳体的外...
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