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本实用新型属于晶圆生产技术领域，尤其是一种晶圆自动覆硼装置，针对现有的掺杂元素与反应气体提前反应，导致晶圆表面覆盖的不够均匀的问题，现提出如下方案，其包括反应箱，所述反应箱的底部固定连接有三个支架，所述支架的外壁固定连接有支撑板，支撑板的外...
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