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评估晶圆的质量的方法或评估晶圆的质量的装置可以包括：对晶圆片或单晶锭进行铜雾度评估；基于铜雾度评估的结果采集铜雾度图数据以及铜雾度评估分数；基于铜雾度图数据和铜雾度评估分数训练人工智能模型；使用经学习的人工智能模型对晶圆或单晶锭进行晶体缺陷...
该专利属于爱思开矽得荣株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过爱思开矽得荣株式会社授权不得商用。

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