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用于大压力范围的耐介质压力传感器制造技术
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下载用于大压力范围的耐介质压力传感器的技术资料
文档序号:34365740
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本公开的实施例涉及用于大压力范围的耐介质压力传感器。一种压力传感器(10;20;30),包括壳体(11)、与壳体(11)一起形成密封的空腔(13)的柔性膜(12)、布置在空腔(13)中的传感器元件(14)、以及位于空腔(13)中的气态介质(...
该专利属于英飞凌科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英飞凌科技股份有限公司授权不得商用。
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