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本实用新型涉及刻蚀机技术领域，具体为一种等离子刻蚀机清洁装置，包括主体的清理装置，所述主体的表面设置有阀门，所述主体的侧面设置有连接管，所述主体的表面固定连接有显示屏，所述主体的表面设置有按钮，所述清理装置设置在主体的内壁，所述清理装置包括...
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