下载一种外加磁场调控电弧等离子体发生和新型出气装置的技术资料

文档序号:34346780

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本发明公开了一种外加磁场调控电弧等离子体发生和新型出气装置,包括:进气管、一体化出气管、四个带针尖的长条放电电极、电磁线圈A、电磁线圈B、等离子体矩壳体。带针尖的长条放电电极、等离子体矩壳体、电磁线圈A由内到外依次套装;进气管设置在等离子体...
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