下载一种高压集成功率半导体器件及其制造方法的技术资料

文档序号:34326905

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本发明提供一种高压集成横向半导体器件及其制造方法,包括:第一导电类型半导体衬底、第一导电类型阱区、第一导电类型半导体接触区、第二导电类型漂移区、第二导电类型阱区、第二导电类型半导体接触区、第二导电类型埋层、第一介质层、第二介质氧化层、第三介...
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