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一种颗粒清除装置及清除方法制造方法及图纸
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文档序号:34293409
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本发明属于显示平板制造技术领域,具体公开了一种颗粒清除装置及清除方法。所述颗粒清除装置包括脉冲气体产生组件和喷射组件,喷射组件上设有互不连通的喷射腔和回收腔,回收腔的回收口环绕喷射腔的喷射口,回收腔呈负压状态,脉冲气体产生组件用于向喷射腔提...
该专利属于苏州晶洲装备科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州晶洲装备科技有限公司授权不得商用。
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