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一种晶片生产用快速冲洗装置制造方法及图纸
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下载一种晶片生产用快速冲洗装置的技术资料
文档序号:34286671
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本实用新型提供了一种晶片生产用快速冲洗装置,包括冲洗箱、晶片翻转夹持机构和冲洗机构;所述冲洗箱的内部开设有清洗腔,晶片翻转夹持机构包括安装在清洗腔左右两侧的第一夹持块和第二夹持块,第二夹持块和第二夹持块相互靠近的一面上均开设有用于放置晶片的...
该专利属于上海晶福机电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海晶福机电科技有限公司授权不得商用。
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