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一种敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器制造技术
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文档序号:34253780
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本发明公开了一种敏感膜图形化的谐振型声表面波湿度传感器,所述湿度传感器包括压电基底(1),压电基底(1)的上表面设置声表面波叉指换能器(2),声表面波叉指换能器(2)的两侧分别设置声表面波反射栅(4),在声表面波叉指换能器(2)和声表面波反...
该专利属于南昌航空大学所有,仅供学习研究参考,未经过南昌航空大学授权不得商用。
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