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使用扫描探针显微镜的表面成像方法及使用该方法的相应系统技术方案
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下载使用扫描探针显微镜的表面成像方法及使用该方法的相应系统的技术资料
文档序号:34236738
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一种使用扫描探针显微镜的表面成像方法,该扫描探针显微镜包括具有从基部支持物(2)延伸到自由端的悬臂的探针、由悬臂的自由端承载的探针尖端以及转向镜(13);所述方法包括:跨表面横向扫描探针,使得探针进行跨表面的扫描运动;经转向镜将检测光束转向...
该专利属于英菲尼特斯马有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过英菲尼特斯马有限公司授权不得商用。
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