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本发明提供一种蚀刻系统及其蚀刻方法。终点检测器检测对被处理材料进行蚀刻处理时产生的光在特定波长的光强度，而产生终点检测信号。被处理材料包括材料层以及形成于材料层上的至少一罩幕层。控制装置依据终点检测信号判断罩幕层的蚀刻完成时间，依据蚀刻完成...
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