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IGBT版图结构制造技术
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文档序号:34195494
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本实用新型公开了一种IGBT版图结构,包括沟槽、栅极跑道和发射极金属,所述沟槽中包括至少一条与所述栅极跑道连接的第一沟槽,以及至少一条与所述发射极金属连接的第二沟槽;所述栅极跑道内设置第一连接孔,所述第一连接孔用于连接所述第一沟槽与所述栅极...
该专利属于上海埃积半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海埃积半导体有限公司授权不得商用。
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