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本发明涉及一种太阳能电池的无氧推进低压扩散工艺，包括如下步骤：(1)在管式低压扩散氧化炉内通氮进舟，检查气密性后，于低于120mbar的低压下对制绒后的硅片进行前氧化处理；(2)维持所述低压下，然后升温至810
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该专利属于江苏润阳悦达光伏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏润阳悦达光伏科技有限公司授权不得商用。

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