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一种半导体芯片烘烤装置制造方法及图纸
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文档序号:34171923
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本发明公开了一种半导体芯片烘烤装置,两个第一传送带设置于所述箱体的内底壁,电机设置于两个第一传送带之间,电机的输出端与转轴的一端可拆卸连接,并位于箱体内底壁的上方,转轴的另一端通过轴承支架与箱体转动连接,并位于两个第一传送带之间,套筒套设于...
该专利属于桂林芯隆科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过桂林芯隆科技有限公司授权不得商用。
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