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本实用新型公布了一种立式化学气相沉积炉炉底加热装置，包括炉体和盖体，炉体的底板内设有加热腔，加热腔内固接有加热丝，炉体内部固接有罩体，盖体的下方连接座板，座板通过支杆连接放置圆盘，本实用新型的有益效果是，气态原材料在经过加热腔的位置时，通过...
该专利属于广州市鸿浩光电半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广州市鸿浩光电半导体有限公司授权不得商用。

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