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一种高功率体声波谐振器及制造方法技术
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文档序号:34144965
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本发明涉及谐振器技术领域,尤其是一种高功率体声波谐振器及制造方法,其中一种高功率体声波谐振器,包括声波谐振器结构,所述声波谐振器结构包括:高热导率层状上电极、压电层、下电极、声反射层和衬底层;所述声反射层、下电极、压电层和高热导率层状上电极...
该专利属于重庆大学所有,仅供学习研究参考,未经过重庆大学授权不得商用。
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