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提供了一种用于在处理工件的系统内移动工件和可更换部件的末端执行器,末端执行器沿着轴向在近端和远端之间延伸。该末端执行器包括:臂部分,沿着轴向在第一臂端与第二臂端之间延伸,第一臂端位于末端执行器的近端;刮刀部分,沿着轴向在第一刮刀端和第二刮刀...该专利属于北京屹唐半导体科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京屹唐半导体科技股份有限公司授权不得商用。
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