下载一种高精度恒温洁净室的技术资料

文档序号:34131843

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本发明提供一种高精度恒温洁净室,包括由左到右依次设置的调温过滤室及洁净室,调温过滤室的中部竖直设置有隔板,隔板分别与调温过滤室的上下前后四个侧壁密封连接并将调温过滤室分隔成左腔室和右腔室;左腔室的左侧壁的中部设置进风口,进风口内设置第一温度...
该专利属于美埃(中国)环境科技股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过美埃(中国)环境科技股份有限公司授权不得商用。

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