下载一种晶圆棒开方控制系统的技术资料

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一种晶圆棒开方控制系统,包括:用于去除晶圆棒边皮的开方仓以及置于所述开方仓端部的移动平台;所述移动平台配设有上料机构和下料机构,所述上料机构和所述下料机构异侧设置在所述开方仓两侧,所述上料机构能够在所述下料机构收集所有边皮并将开方后的所述晶...
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