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本公开提供了一种射频离子源，其特征在于，包括：射频激励装置，用于产生射频电场；离子发生装置，用于在射频电场的作用下产生等离子；延长管，包括：管体，用于容纳射频激励装置的至少一部分和离子发生装置的至少一部分，管体与离子发生装置真空密封连接；真...
该专利属于费勉仪器科技（南京）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过费勉仪器科技（南京）有限公司授权不得商用。

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