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一种对基板进行处理的装置，具有：腔室，其用于收容基板；热源，其对基板进行热处理；热线感应型传感器，其设置于所述腔室的外部，接受从基板辐射的红外线；以及红外线透过窗，其设置于所述腔室并使具有8μm以上的波长的红外线透过并朝向所述热线感应型传感...
该专利属于东京毅力科创株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过东京毅力科创株式会社授权不得商用。

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