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本发明涉及抗蚀剂组合物其包含(A)聚合物组分、(B)光致产酸剂组分、(C)光活性重氮萘醌组分及(D)溶剂。该聚合物组分包含酚醛清漆衍生物及包含羟基苯乙烯重复单元的聚合物的混合物。该聚合物组分包含具有游离酚羟基部分的重复单元及具有受酸可裂解缩...
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