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一种双沟道MOSFET器件及其制造方法技术
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文档序号:34054481
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一种双沟道MOSFET器件及其制造方法,器件包括至少一个元胞,元胞包括:漏区、第一漂移区、第二漂移区、横向沟槽栅、体区、源区、竖向沟槽栅以及源极电极。第二漂移区位于第一漂移区的上方,横向沟槽栅位于第二漂移区中,横向沟槽栅包括横向栅极以及第一...
该专利属于深圳市威兆半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市威兆半导体有限公司授权不得商用。
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