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本实用新型涉及一种用于定位加热灯的定位装置和半导体加工装置，该定位装置包括：第一标尺，所述第一标尺包括连接结构，所述连接结构用于将所述第一标尺与半导体加工设备相连接，其中所述半导体加工设备包括多个灯；第二标尺，所述第二标尺被设置为相对于所述...
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