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本实用新型涉及一种等离子体发生设备和半导体加工设备，该等离子体发生设备包括第一框架、第二框架和锁定件；其中，第一框架与线圈固接；第二框架与腔室固接；线圈设置于腔室的外部，用于在线圈通电后，在腔室的内部产生等离子体；第二框架与第一框架相配合，...
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