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本发明属于碳化硅晶体技术领域，尤其涉及一种用于碳化硅制备过程的坩埚装置。本发明通过坩埚主体，加热板，底座单元，放置板，旋转柱单元，以及夹持板单元起到了快速在加热装置和非加热装置之间移动制备碳化硅晶体坩埚的技术效果。本发明具有下列优点：通过夹...
该专利属于浙江东尼电子股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江东尼电子股份有限公司授权不得商用。

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