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用于指示测量装置探针位置的感应位置检测配置制造方法及图纸
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下载用于指示测量装置探针位置的感应位置检测配置的技术资料
文档序号:34005368
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一种用于扫描探头中的探针位置测量的感应位置检测配置,包括沿着探针中的中心轴线布置的探针位置检测部分。探针位置检测部分包括场产生线圈配置以及顶部和底部轴向和旋转感测线圈配置。场产生线圈配置产生变化的磁通量,并且线圈信号指示导电扰动器元件和/或...
该专利属于株式会社三丰所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社三丰授权不得商用。
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