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一种基于晶圆承载台三维形貌快速聚焦的方法，包括采集：大范围聚焦采集形貌标定晶圆在晶圆承载台上时的三维形貌特征信息，作为形貌标定数据；使用过程包括：一、载入实测晶圆，利用当前光学系统对晶圆的参考测量点大范围聚焦得到实际焦点值；利用形貌标定数据...
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