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具有空腔结构的微圆环谐振器，属于微机电系统领域。解决了现有的微圆环式谐振器由热弹性阻尼带来的限制谐振系统品质因子(Q值)变大问题。本发明包括位于基座上的圆环谐振子、支撑结构、驱动电极和锚点桩，且圆环谐振子的外表面镀有金属导电层；圆环谐振子的...
该专利属于哈尔滨工程大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工程大学授权不得商用。

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