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本实用新型公开了一种安全环保的精馏氯硅烷废液无害化处理装置，属于氯硅烷废液无害化处理装置技术领域，在原有精馏回收系统末端增设一台残液缓冲罐、一台循环水解槽、一台循环泵及循环水池，回收系统富集的残液排放至残液缓冲罐，通过氮气加压送至循环水解槽...
该专利属于湖北飞菱光纤材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过湖北飞菱光纤材料有限公司授权不得商用。

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