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工艺偏差检测电路与工艺偏差检测方法技术
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文档序号:33945891
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本公开提供一种工艺偏差检测电路与工艺偏差检测方法,所述工艺偏差检测电路设置在芯片中,包括:第一环形振荡器,所述第一环形振荡器的相邻两个反相器之间均设置有第一数量的预设种类的辅助元件;第二环形振荡器,所述第二环形振荡器的相邻两个反相器之间均设...
该专利属于长鑫存储技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过长鑫存储技术有限公司授权不得商用。
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