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本实用新型公开了用于石英坩埚真空熔制工艺的抽真空装置，包括真空泵本体和工作箱，工作箱内部设有活动连接的减震板，真空泵本体活动设于减震板顶部，减震板底部设有减震杆，工作箱底部设有减震套筒，减震套筒内壁设有减震弹簧，工作箱内壁设有水袋，减震套筒...
该专利属于无锡市尚领石英科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡市尚领石英科技有限公司授权不得商用。

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