下载静电激励器的驱动方法的技术资料

文档序号:3388943

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一种静电激励器装置及用来激励该装置的方法。该装置包括一对激励板,它具有为其提供电压的电极,并且一对中的至少一个能够相对于另外一个运动。在通过附着在板上的电极施加电压时可以移动板的位置。一个驱动装置为电极提供电压,使至少一个板运动。驱动装置产...
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