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晶圆抛光系统技术方案
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文档序号:33887082
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本实用新型公开了一种晶圆抛光系统,至少包括一个抛光单元;抛光单元包括晶圆传输通道,及至少两个抛光模组,抛光模组位于晶圆传输通道的两侧;抛光模组包括抛光平台和抛光臂,抛光臂可带动晶圆相对抛光平台活动,以实现抛光工艺;晶圆传输通道上有至少两个工...
该专利属于杭州众硅电子科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过杭州众硅电子科技有限公司授权不得商用。
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