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一种克重调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机制造技术
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下载一种克重调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机的技术资料
文档序号:33840233
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本发明涉及晶圆加工技术领域,具体涉及一种克重调节结构、刀具调节组件及具有其的裂片机。一种克重调节结构,包括:调节板,调节板上设有至少一个弹片和至少一个感应器,弹片与调节板垂直设置;控制器,与感应器信号连接;刀具支架,刀具支架设有开口朝向调节...
该专利属于河北圣昊光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过河北圣昊光电科技有限公司授权不得商用。
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